Verknüpfung von Mikroelektronik, Mikromechanik und Mikrooptik in mikrominiaturisierten technischen Systemen, die z.B. Maschinen von der Größe eines Staubkorns oder medizinische Instrumente, die nur noch unter einem Mikroskop sichtbar werden, ermöglichen.
Einsatzgebiete sind: Medizintechnik, Umwelttechnik, Kommunikationstechnik, Elektronik, Mess- und Automatisierungstechnik u.v.a. Gebiete.
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Mikrosysteme
