Die Mikrosystemtechnik (MST) erstellt Strukturen im Mikrometerbereich (Strukturen der Nanotechnologie liegen im Nanometerbereich). Sie kombiniert Mikroelektronik, Mikromechanik, Mikrofluidik und Mikrooptik, aber auch Entwicklungen der Informatik, Biotechnologie und Nanotechnologie, indem sie Entwicklungen und Strukturen aus diesen Bereichen zu neuen Systemen vereinigt.
In diesen Systemen wirken Sensoren, Aktoren und Datenverarbeitung zusammen. Prominentes Beispiel sind optische Sensoren in kabellosen Mäusen, oder auch die Bubble-Jet Druckköpfe moderner Drucker, die mikrometerfeine Düsen mit Heizelementen kombinieren, zum Teil sogar mit eigener Intelligenz im Druckkopf. Weitere Anwendungsbeispiele sind Beschleunigungs-Sensoren zur Auslösung von Airbags, Drehraten-Sensoren für Überrollbügel, Instrumente der minimal-invasiven Chirurgie wie Endoskopsysteme oder chemische Sensoren für die Lebensmittelüberwachung.
